真空的本质是气体分子浓度较低的空间。因此，只要空间中的气体分子浓度降低，就可以在不实际进行排气处理的情况下获得真空。钛泵基于这一原理。
钛原子与空间气体分子之间的一系列复杂的物理和化学反应通过加热，电离等进行，使得气体分子与钛原子一起沉积，从而达到降低空间气体分子浓度的目的。这是钛泵的基本工作原理。这与压缩泵的原理不同（即，气体从一侧压缩到另一侧以获得真空）。
2.1，溅射离子泵的原理
早在本世纪初，一些人就在真空管中蒸发一些化学活性金属，与未在管中泵出的气体发生反应，从而降低了空间中气体分子的浓度。这种金属以及起相同作用的材料称为吸气剂。这种方法称为化学清除。实验表明，当钛连续蒸发到冷却壁上时，可以形成具有相当泵送速率的泵，形成简单的升华泵。
捕获气体分子也可以使用电离吸附方法。通过用高速电子轰击气体分子可以获得正离子。通过电场将正离子排出到负电极。中和后，分子之间的范德华力被金属吸附，不再离开电极。这降低了空间气体分子的浓度并达到了获得真空的目的。这种现象称为电动清洁，使用电动清洁实现脱气的泵称为离子泵。离子泵对吸附的气体没有选择性。
离子泵和升华泵均可实现高真空水平，但单独使用它们来实现更高的真空度可能很困难。这与他们的工作机制有很大关系。离子泵通过物理吸附捕获气体分子的能力是有限的;升华泵产生的化学键能很大，但很容易在其表面形成饱和，影响其对气体的进一步吸收，升华泵对惰性气体的吸附效果不好。因此，通过将两个泵组合成一个，可以获得具有更好抽吸效果的溅射离子泵。
2.2，溅射离子泵的组成
溅射离子泵主要由四部分组成：阳极，阴极，永磁体和泵体。